高精度影像儀解決半導(dǎo)體尺寸測(cè)量難題

半導(dǎo)體類尺寸測(cè)量一直是行業(yè)難題，微小尺寸檢測(cè)需要很高精度的影像測(cè)量設(shè)備才能完成。為了滿足半導(dǎo)體客戶高品質(zhì)測(cè)量要求，七海推出Optiv Reference高精度影像儀,此高精度大行程光學(xué)測(cè)量方案能有效解決高精度測(cè)量需求，助力客戶在該產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域的研發(fā)實(shí)力。

Optiv Reference是高精度復(fù)合式影響測(cè)量系統(tǒng)，是七海影像儀中精度最高的多傳感器儀器。是一款高精度型固定橋式超高精度的復(fù)合式影像測(cè)量系統(tǒng)，機(jī)器配備專利雙Z軸設(shè)計(jì)，能通過(guò)兩個(gè)垂直軸安裝觸發(fā)和發(fā)光傳感器，給實(shí)際測(cè)量工作中帶來(lái)不少便利和減少來(lái)回設(shè)置的麻煩。全花崗巖結(jié)構(gòu)，精密V形燕尾導(dǎo)軌設(shè)計(jì)Y軸，讓機(jī)器能保持出眾的穩(wěn)定性，為精準(zhǔn)測(cè)量提供基礎(chǔ)。工業(yè)級(jí)高清晰度CCD相機(jī)，配合可調(diào)三種光源，能夠捕捉清晰的影像信息。

通過(guò)不斷驗(yàn)證完成后，影像團(tuán)隊(duì)對(duì)設(shè)備方案進(jìn)行調(diào)整，整合集團(tuán)全球資源。推薦的高精度Optiv Reference 10103（E1=0.3+L/600μm ；E2=0.6+L/600μm）影像測(cè)量?jī)x最終得到客戶的認(rèn)可，并確認(rèn)采購(gòu)Optiv Reference復(fù)合式影像測(cè)量?jī)x。通過(guò)采用旗下Optiv Reference高精度復(fù)合式影像測(cè)量?jī)x來(lái)進(jìn)行尺寸測(cè)量驗(yàn)證，進(jìn)一步提升了客戶在研發(fā)階段對(duì)微小尺寸測(cè)量的可靠性，助力公司在行業(yè)內(nèi)形成標(biāo)桿。同時(shí)也增加了七海對(duì)各行業(yè)檢測(cè)難點(diǎn)深入研究的案例?？蛻艚o予這款七海高精度影像儀高度評(píng)價(jià)。